Apa itu gelembung CO2 Megcon?
Sistem Antistatic untuk Air Ultrapure (MEGCON)
"MEGCON Ⅱ +" adalah peralatan yang mengendalikan nilai resistivitas air ultra murni
dengan melarutkan gas karbon dioksida dalam air ultra murni melalui membran berongga khusus.
Ikhtisar
Dalam pembersihan presisi produk semikonduktor, air ultra murni digunakan yang hampir bebas dari komponen ion.
Oleh karena itu, listrik statis dapat dengan mudah menghasilkan dan kesalahan berikut menyebabkan kerusakan produk.
1.Destruksi rangkaian substrat (kerusakan ESD)
2.Partikel reattachment
Dengan MEGCONⅡ +, dengan mengurangi nilai resistivitas air ultra murni dan memberinya konduktivitas,
adalah mungkin untuk mencegah kerusakan yang disebabkan oleh listrik statis ini.
Aplikasi
1.Dicing proses
2.High Pressure jet cleaning
3.Scrubber membersihkan
Proses kristal cair
5.Mask dan pembersihan reticle
fitur
Resiko rendah kontaminasi partikel dan kecilnya konsumsi gas CO2
Kemungkinan untuk mengendalikan bahkan dalam hal laju alir kecil
Kehilangan tekanan rendah
Kontrol otomatis nilai resistivitas
Model arus alir garis besar
Prinsip
Kontrol nilai resistivitas air ultra murni dengan melarutkan gas karbon dioksida dalam air ultra murni melalui membran berongga khusus.