Bọt khí CO2 của Megcon là gì?
Hệ thống chống tĩnh điện cho nước siêu sạch (MEGCON)
"MEGCON Ⅱ +" là thiết bị kiểm soát giá trị điện trở suất của nước siêu sạch
bằng cách hòa tan khí carbon dioxide trong nước siêu thoát thông qua màng rỗng đặc biệt.
Tổng quan
Trong việc làm sạch chính xác các sản phẩm bán dẫn, nước cực nhanh được sử dụng hầu như không có thành phần ion.
Do đó, điện tĩnh có thể dễ dàng tạo ra và các lỗi sau đây gây ra khiếm khuyết sản phẩm.
1.Độ tiêu hao của các chất nền mạch (ESD thiệt hại)
2. Lặp lại mục lục
Với MEGCONⅡ +, bằng cách giảm giá trị điện trở suất của nước siêu thoát và cho nó độ dẫn,
có thể ngăn ngừa các khuyết tật gây ra bởi điện tĩnh này.
Các ứng dụng
1.Dicing quá trình
2.High pressure jet cleaning
3.Scrubber làm sạch
4.Quá trình pha lê
5. Làm sạch và làm sạch lưới
Tính năng, đặc điểm
Nguy cơ ô nhiễm hạt thấp và lượng khí CO2 tiêu thụ nhỏ
Có thể kiểm soát ngay cả trong trường hợp tốc độ dòng chảy nhỏ
Mất áp suất thấp
Tự động kiểm soát giá trị điện trở suất
Mô hình các mô hình lưu lượng lớn
Nguyên tắc
Kiểm soát giá trị điện trở suất của nước cực nhanh bằng cách hòa tan khí carbon dioxide trong nước siêu thoát thông qua màng rỗng đặc biệt.