Megcon CO2 bubbler คืออะไร?
ระบบป้องกันไฟฟ้าสถิตย์สำหรับน้ำอัลตร้าเปเปอร์ (MEGCON)
"MEGCON Ⅱ +" เป็นอุปกรณ์ที่สามารถควบคุมค่าความต้านทานของน้ำได้
โดยการละลายก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์ในน้ำบริสุทธิ์ผ่านเยื่อแผ่นใยกลวงพิเศษ
ภาพรวม
ในการทำความสะอาดอย่างแม่นยำของผลิตภัณฑ์เซมิคอนดักเตอร์จะมีการใช้น้ำบริสุทธิ์เป็นพิเศษซึ่งเกือบจะไม่มีส่วนประกอบของไอออน
ดังนั้นไฟฟ้าสถิตสามารถเกิดขึ้นได้ง่ายและข้อผิดพลาดต่อไปนี้ทำให้เกิดข้อบกพร่องของผลิตภัณฑ์
1. การลดความเสียหายของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ (ESD)
2. การติดฉลากซ้ำ
ด้วยMEGCONⅡ + โดยการลดค่าความต้านทานของน้ำบริสุทธิ์และให้ค่าการนำไฟฟ้า
เป็นไปได้เพื่อป้องกันข้อบกพร่องที่เกิดจากไฟฟ้าสถิตย์นี้
การประยุกต์ใช้งาน
กระบวนการ 1.Dicing
2. ล้างทำความสะอาดด้วยแรงดันสูง
3. ทำความสะอาดคราบสกปรก
กระบวนการคริสตัลเหลว
5. ทำความสะอาดพื้นผิวและกาว
คุณสมบัติ
มีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนของอนุภาคและการใช้ก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์ในปริมาณที่น้อย
สามารถควบคุมได้แม้ในกรณีที่มีอัตราการไหลขนาดเล็ก
การสูญเสียแรงดันต่ำ
ควบคุมค่าความต้านทานได้โดยอัตโนมัติ
โมเดลอัตราการไหลขนาดใหญ่แบบไลน์
หลัก
ควบคุมค่าความต้านทานของน้ำบริสุทธิ์โดยการละลายก๊าซคาร์บอนไดออกไซด์ในน้ำบริสุทธิ์ผ่านเยื่อแผ่นใยกลวงพิเศษ